| 产品特性：镀膜 | 新旧程度：8成新 | 型号：OTFC-1300 |
| 设备所在地：东莞 | 设备生产产地：日 本 | 产品数量：2 |
| 电子枪：2支 | 晶控：1 | 离子源：1 |
| 尺寸：1300 | 阻蒸：1个 | 电压：220 |
| 功率：35 | 重量：5000 |
设备名称OTFC-1300CBI/DBI
真空室SUS304, φ1300mm×1610mm (H)
工件架φ1130mm
工件架转速10rpm to 50rpm(可变)
光学膜厚控制HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围：350nm to 1100nm
反射式/透射式
水晶式膜厚计XTC/3+6点式水晶传感器
蒸发源电子枪2套
离子源17cmRF离子源
排气系统机械泵+2个扩散泵+Polycold（或2个冷凝泵）
达到压力7.0×10-5 Pa 以下
排气时间15分（大气压～1.3×10-3 Pa)
基板温度：350℃
工作条件
设备尺寸约5000mm(W)×6500mm(D)×3500mm(H)
电源3相,200v,50/60Hz, 约104KVA
水流量140升/分以上
空气压力0.5MPa以上
重量约8500kg
